O criopompă este o pompă de vid care utilizează o suprafață de temperatură scăzută pentru a condensa gazul, cunoscută și sub numele de pompă de condens. Criopompa poate obține un vid curat cu cea mai mare viteză de pompare și cea mai scăzută presiune finală și este utilizată pe scară largă în cercetarea și producția de semiconductori și circuite integrate, precum și în cercetarea fasciculului molecular, echipamente de acoperire în vid, instrumente de analiză a suprafeței în vid, ion implantare și simulare spațială. dispozitive etc.
Principiul de pompare Criopompa este echipată cu o placă rece răcită la o temperatură foarte scăzută cu heliu lichid sau un frigider. Condensează gazul și menține presiunea de vapori a condensului sub presiunea finală a pompei, astfel încât să se realizeze efectul de pompare. Principalele funcții ale pompei la temperatură joasă sunt condensarea la temperatură scăzută, adsorbția la temperatură scăzută și captarea temperaturii scăzute.
criopompa
① Condensare la temperatură joasă: moleculele de gaz se condensează pe suprafața plăcii reci sau pe stratul de gaz condensat, iar presiunea de echilibru este practic egală cu presiunea de vapori a condensatului. La pomparea hidrogenului, temperatura plăcii rece este mai scăzută.
② Adsorbție la temperatură joasă: moleculele de gaz sunt adsorbite pe suprafața adsorbantului acoperit pe placa rece cu o grosime de un strat molecular. Presiunea de echilibru pentru adsorbție este mult mai mică decât presiunea vaporilor la aceeași temperatură.
③Capcană criogenică: moleculele de gaz care nu pot fi condensate la temperatura de extracție sunt îngropate și adsorbite de stratul în creștere de gaz condensabil.