În funcție de metoda de alimentare a mediului, criopompele sunt împărțite în următoarele tipuri:
Pompă criogenică a rezervorului de stocare: mediu de temperatură joasă (heliu lichid) este injectat direct în rezervorul de stocare din pompă pentru a condensa gazul pentru a atinge scopul de pompare.
Avantajele criopompei cu rezervor de stocare sunt că pompa este de dimensiuni mici, fără vibrații, fără zgomot și ușor de operat.
Dezavantajul pompei criogenice a rezervorului de stocare este că costul de operare este mare, timpul de utilizare al fiecărei umpleri a mediului cu temperatură joasă este scurt, iar sistemul de vid care trebuie să funcționeze continuu pentru o perioadă lungă de timp trebuie să reînnoiască periodic sistemul de lucru. mediu și este limitat de condițiile de alimentare ale mediului de temperatură scăzută.
Criopompa de proces: conducta de răcire a criopanoului din pompă este conectată la expandorul de refrigerare, iar mediul criogenic (heliu gazos) este furnizat criopompei prin conducta exterioară, absoarbe căldura criopanelului și apoi revine la compresorul de refrigerare la formează un ciclu închis. Volumul pompei este uriaș, conducta este complicată, iar pierderea de răcire a conductei este mare.
Avantajul criopompei de proces este că are o putere mare de răcire și este cea mai potrivită pentru îndepărtarea volumului atmosferic sau a unei camere de vid mare.
Criopompa pentru frigider mic: Criopompa pentru frigider mic cu ciclu închis este compusă dintr-un corp de pompă de temperatură joasă, un criopanou de extracție a aerului, o placă de protecție împotriva radiațiilor, un frigider și un compresor.
Cea mai mare diferență între pompa criogenică a frigiderului mic și pompa criogenică a procesului este că primul și cel de-al doilea cap de răcire ale frigiderului sunt conectate direct la ecranul de radiații și placa rece, iar debitul în conducta de legătură dintre frigider și compresorul este temperatura normală, temperatură ridicată (sau scăzută). ) mediu de gaz presurizat, nu există nicio problemă de transport a mediului de temperatură scăzută și are avantajele criopompei de proces și criopompei rezervorului de stocare. În prezent, este o pompă de vid ultra-înaltă ideală.
Criopompele mici pentru frigider sunt utilizate pe scară largă în prepararea peliculei subțiri, tehnologia microelectronică, fizica energiei înalte, echipamente cu matriță cu inele mici și alte domenii industriale.